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英福康四大“追光利器”登場(chǎng)!從氦檢到質(zhì)譜,助您攻克光伏量產(chǎn)難題

更新時(shí)間:2026-05-28      點(diǎn)擊次數(shù):181

英福康四大“追光利器"登場(chǎng)!從氦檢到質(zhì)譜,助您攻克光伏量產(chǎn)難題

SNEC 2026

第十九屆 (2026) 國(guó)際太陽(yáng)能光伏

與智慧能源(上海)大會(huì)暨展覽會(huì)

英福康四大“追光利器
時(shí)間:2026年6月3-5日
英福康四大“追光利器
地址:上海國(guó)家會(huì)展中心
英福康四大“追光利器



英福康四大“追光利器
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氦氣檢漏:

又快又準(zhǔn),漏點(diǎn)無(wú)處藏

太陽(yáng)能電池技術(shù)飛速發(fā)展,但設(shè)備泄漏成為重大挑戰(zhàn)。以PECVD為例,泄漏會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)腔氣體成分和壓力失控,在HJT電池制造中會(huì)造成非晶硅鈍化層生長(zhǎng)不均,導(dǎo)致開路電壓和填充因子下降,光電轉(zhuǎn)換效率大幅降低。


UL6000 Fab 移動(dòng)式氦氣檢漏儀

英福康四大“追光利器

專為大型工藝工具設(shè)計(jì),搭載英福康du you的 I·CAL 和 HYDRO·S 軟件算法。緊湊機(jī)身可靈活穿梭于復(fù)雜產(chǎn)線,在所有測(cè)量范圍內(nèi)都能實(shí)現(xiàn)行業(yè)ling xian的響應(yīng)速度,讓泄漏檢測(cè)既準(zhǔn)確又高效。


SMART-Spray 無(wú)線氦氣噴槍


英福康四大“追光利器


che di告別軟管束縛和手動(dòng)流量調(diào)節(jié)。無(wú)線自由,操作靈活,即使在狹窄的潔凈室空間內(nèi)也能精準(zhǔn)定位漏點(diǎn)。兼容全系列 UL 檢漏儀,是 UL6000 Fab 的最佳搭檔。


英福康四大“追光利器



薄膜沉積控制:

鈣鈦礦共沉積的“精算師"

鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的大規(guī)模制造,極度依賴納米級(jí)超薄膜層和共沉積技術(shù)。


Cygnus® 2 薄膜沉積控制器應(yīng)運(yùn)而生:


英福康四大“追光利器



可同時(shí)控制多達(dá)六個(gè)材料源,滿足復(fù)雜共沉積工藝需求;


Auto-Z™ 功能實(shí)時(shí)計(jì)算未知材料的 Z 比值,無(wú)需再依賴猜測(cè);


在超低沉積速率下仍能提供穩(wěn)定、實(shí)時(shí)的數(shù)據(jù)反饋;


支持從實(shí)驗(yàn)室順利過(guò)渡到量產(chǎn)設(shè)備,保障產(chǎn)品一致性。



真空計(jì)系列:

全量程覆蓋,精準(zhǔn)掌控每一道壓力

從大氣壓到超高真空,英福康真空計(jì)為光伏制造全流程提供可靠數(shù)據(jù)支撐


CDG020D

電容式壓力計(jì)


氧化鋁陶瓷傳感器,結(jié)構(gòu)緊湊,不受氣體類型影響

英福康四大“追光利器
英福康四大“追光利器

CDG025D

電容式壓力計(jì)

防腐蝕陶瓷傳感器,零點(diǎn)穩(wěn)定性出色,可承受數(shù)百萬(wàn)次壓力循環(huán);

PSG500

皮拉尼真空計(jì)


數(shù)字 Pirani 技術(shù),不銹鋼傳感器堅(jiān)固耐用;

英福康四大“追光利器
英福康四大“追光利器

BAG552 

熱電離真空計(jì)

Bayard-Alpert 測(cè)量系統(tǒng),雙燈絲設(shè)計(jì),精度、重復(fù)性與壽命俱佳

無(wú)論您的工藝是 PECVD、PVD 還是蒸發(fā)鍍膜,都能在這里找到適合的那一款真空計(jì)。



殘余氣體分析儀

ppm 級(jí)監(jiān)測(cè),為真空腔體筑牢防線

在高效電池的制造過(guò)程中,腔體內(nèi)微量的污染氣體或空氣泄漏,都可能引發(fā)批次性良率下降,甚至導(dǎo)致整爐產(chǎn)品報(bào)廢。及時(shí)發(fā)現(xiàn)并控制這些“隱形威脅",是保障工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵。


Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀:可在 20 mTorr 高壓環(huán)境下直接工作,70eV 電子轟擊電離生成獨(dú)特的質(zhì)譜峰分布。空氣漏點(diǎn)、氣體純度、碳?xì)浠衔镂廴尽獙?shí)時(shí)捕捉,快速響應(yīng)。

英福康四大“追光利器

Transpector® MPH 支持多氣體并行監(jiān)測(cè),廣泛用于真空工藝、薄膜沉積等場(chǎng)景,穩(wěn)穩(wěn)守護(hù)工藝穩(wěn)定與質(zhì)量控制。

英福康四大“追光利器

從 PECVD 到 PVD,RGA 技術(shù)正以 ppm 級(jí)精度構(gòu)建全鏈條質(zhì)量保障體系。





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