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SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相

更新時(shí)間:2026-03-17      點(diǎn)擊次數(shù):256

SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相


大家好呀!


我是你們的老朋友小福~春節(jié)的喜氣還在心頭縈繞,咱們英福康就已經(jīng)整裝待發(fā),迎來(lái)了2026年開(kāi)年后di yi場(chǎng)重量級(jí)盛會(huì)——SEMICON China 2026


3月25日-27日,小福將在上海新國(guó)際博覽中心與大家見(jiàn)面,一起聊聊半導(dǎo)體制造背后的“硬核黑科技",也聊聊如何用歐洲精研的技術(shù),護(hù)航每一顆“中國(guó)芯"的誕生




誠(chéng)邀!
SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相
聚焦未來(lái)工廠,英福康有備而來(lái)!


本次SEMICON 2026,我們以 “Building Tomorrow's Smart Factory Today" 為主題,帶來(lái)從殘余氣體分析、泄漏檢測(cè)、真空測(cè)量到智能制造的全鏈路解決方案


下面就跟著小福先睹為快吧~


SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相
01
RGA家族
為工藝氣體做“實(shí)時(shí)體檢"




SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相



作為RGA領(lǐng)域的業(yè)biao gan,英福康Transpector系列源自歐洲精研技術(shù),近日在歐洲啟動(dòng)本土化生產(chǎn)——以更穩(wěn)定的供應(yīng),為半導(dǎo)體制造保駕護(hù)航



Transpector CPX

—— 極速精準(zhǔn)的“數(shù)據(jù)分析師"

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專為ALD、CVD、PVD等嚴(yán)苛工藝而生,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體成分,確保每一步精準(zhǔn)無(wú)誤。相比上一代,體積減小30%,集成更輕松,操作更簡(jiǎn)便。


Transpector MPH

—— 多氣體并行監(jiān)測(cè)的“多面手"

SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相


高靈敏度殘余氣體監(jiān)測(cè),支持多氣體并行檢測(cè),廣泛應(yīng)用于真空工藝、薄膜沉積等場(chǎng)景,穩(wěn)穩(wěn)守護(hù)工藝穩(wěn)定與質(zhì)量控制。


Transpector XPR 3+

—— 高壓環(huán)境下依然靈敏的“極限挑戰(zhàn)者"

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可在20mTorr高壓環(huán)境下穩(wěn)定工作,測(cè)量速度行業(yè)。從高真空到20mTorr范圍,都能高靈敏度檢測(cè)空氣泄漏和污染。雙離子源設(shè)計(jì)延長(zhǎng)使用壽命,快速診斷讓工廠運(yùn)行更高效。


SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相
02
泄漏檢測(cè)“黃金搭檔"
UL3000 Fab & SMART-Spray




UL3000 Fab 氦氣檢漏儀

—— 移動(dòng)靈活的“檢漏專家"

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專為現(xiàn)代半導(dǎo)體工廠打造,高靈敏度、快速啟動(dòng)、測(cè)試精準(zhǔn),緊湊設(shè)計(jì)適配嚴(yán)苛空間,為高效運(yùn)轉(zhuǎn)提供可靠保障。


SMART-Spray 氦氣噴槍

—— 無(wú)線便攜的“省錢小能手"

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專為UL系列設(shè)計(jì),無(wú)線無(wú)管,單次充氦可噴超1000次,精準(zhǔn)定位泄漏點(diǎn),大幅節(jié)省氦氣用量和成本。配備彩色照明顯示屏,復(fù)雜環(huán)境下操作更簡(jiǎn)便。


SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相
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真空測(cè)量系列
守護(hù)工藝的“di yi道關(guān)口"
多系列真空計(jì) 
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英福康為半導(dǎo)體行業(yè)提供全系列的真空測(cè)量傳感器,覆蓋從粗真空到超高真空的廣泛量程,穩(wěn)穩(wěn)守護(hù)真空壓力控制和腔室完整性,為高產(chǎn)量和高品質(zhì)打好基礎(chǔ)

清潔真空組件 & xParts涂層技術(shù)
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采用英福康自主研發(fā)的xParts ALD涂層技術(shù),涂層純凈、致密、無(wú)缺陷,耐受性強(qiáng),從容應(yīng)對(duì)腐蝕性工藝。根據(jù)不同工藝要求,提供標(biāo)準(zhǔn)、清潔與涂層三種清潔等級(jí),在延長(zhǎng)真空計(jì)使用壽命的同時(shí),保障工藝環(huán)境的潔凈度與穩(wěn)定性。


SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相
04
讓工廠“會(huì)思考"
英福康流程智能解決方案


SEMICON China 2026 | 聚焦未來(lái)工廠,英福康攜硬核技術(shù)亮相



面向未來(lái)工廠的智能化需求,英福康提供貫通全流程的實(shí)時(shí)生產(chǎn)數(shù)據(jù)管理與調(diào)度系統(tǒng):

01
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Factory Scheduler智能排產(chǎn)系統(tǒng):協(xié)調(diào)設(shè)備、物料與物流,確保產(chǎn)品精準(zhǔn)流轉(zhuǎn),消除瓶頸,減少閑置產(chǎn)能。

02
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FPS數(shù)字孿生系統(tǒng):基于實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)精準(zhǔn)預(yù)測(cè),優(yōu)化工廠生產(chǎn)調(diào)度,實(shí)現(xiàn)智能排產(chǎn)、優(yōu)化庫(kù)存周轉(zhuǎn)、降低設(shè)備能耗,并通過(guò)可視化生產(chǎn)進(jìn)度推動(dòng)全面智能制造。





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